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名 称：深圳市美格真空科技有限公司认 证：工商信息已核实
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产品简介
1．产品名称：小型氧化亚硅气象沉积真空炉
2．应用领域：动力电池负极材料（氧化亚硅等可气相沉积材料）
型号 | 装料尺寸 | 装载量 | 工作温度 | 极限温度 | 真空度 | 总功率 | 气氛类别 | 工序时长 |
MGB15-85HH | Φ150 * 850 | 0.12M3 | 1350°C | 1600℃ | 0.1* 0.5pa | 35KW | Ar/N2 | 16H/炉 |
）
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